镀膜样品载台：
升降、旋转（含样品挡板）一套，升降、旋转功能可通过PLC控制系统进行控制；
3、真空主机部分：
主体采用304不锈钢，焊接后，对真空腔体进行表面处理，为亚光电解处理，前后门一套；
4、镀膜检测系统：
配备2支水冷晶振探头，一台自动控制膜厚仪；
5、蒸发源：
多套金属蒸发源（含控制电源）
蒸镀室性能：
高真空多功能蒸发设备主体均为不锈钢制造，耐腐蚀、抗污染、漏率小;设备电控部分采用了先进的检测和控制系统，配置了较先进的PLC触摸编程控制，为用户做多层膜提供了良好的设备功能保证，且保证了设备各功能的稳定和方便操作。性能稳定、可靠；设备布局合理，提高了利用率和稳定性，减少了对环境的干扰；控制面板的设计考虑了美观和适用的结合，使面板操作指示明确，观察舒适、操作方便。
6、其他组成部分：
主体承载机架一套、CF100观察窗组件一套、烘烤照明系统一套以及其他真空部件
