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真空镀膜机操作程序

真空镀膜机操作程序

发布日期:2019/4/1 11:51:22

① 检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。



② 打开总电源开关,设备送电。



③ 低压阀拉出。开充气阀,听不到气流声后,启动升钟罩阀,钟罩升起。



④ 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位,保证无任何杂质污物。



⑤ 落下钟罩。



⑥ 启动抽真空机械泵。



⑦ 开复合真空计电源(复合真空计型号:Fzh-1A)。



a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。



b.低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至110mA时,左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。



⑧ 当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时,低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。



⑨ 真空镀膜机开通冷却水,启动扩散泵,加热40min。



⑩ 低压阀拉出。重复一次⑦动作程序:左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动,当指针移动至6.7Pa时,开高压阀(阀杆顺时针旋转)。



⑪ 等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时,开规管灯丝开关。



a. 发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。



b. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。



⑫ 旋转发射调节钮“4”,使高压真空表“5”内指针指向5。



⑬ 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。



⑭ 旋转零点调节钮“10”,让高压真空表“5”内指针指向0位置。



⑮ 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。



⑯ 旋转标准调节钮“3”,让高压真空表“5”内指针指向10。



⑰ 旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12,当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时,再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。



⑱ 当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6.7Pa时,开工件旋转钮开关,钟罩内被镀件PVDF膜转动。



⑲ 开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内(设有1、 2、 3、 4孔,可插入任意一孔)。



⑳ 右手旋转右侧调压器手轮,慢慢旋转升压。



a. 从视镜窗口观察钨螺旋加热子的加热温度颜色变化情况。



b. 当钨螺旋加热子颜色变成黄橙色,铝丝开始熔化时,左手操作挡板钮,移开钨螺旋上方挡板。



c. 铝丝全部熔化蒸发,挡板回原位。



d. 右手旋转调压器手轮回零位。第一次蒸镀工作完成。



21. 如果再想蒸镀一次(为了增加电极金属层厚度):把电流分插塞拨出插入另一个电极分配孔。重复⑳操作动作。



22. 关闭规管灯丝开关。关闭高压阀(逆时针转手柄)。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至指向扩散泵位置。



23. 低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时间,当没有气.声时,升钟罩。



24. 钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下 (原下面已镀一层铝膜面向上)。紧固在转动圆盘上。



25. 落钟罩。开机械泵。



a. 左下旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。



b. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时,低压阀推入。



c. 左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。



d. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到6.7Pa时,开高压阀。旋钮“1”旋转至指向2区段测量位置。



e. 当低压真空表“2”内指针顺时针移动到指向0.1Pa时,开规管灯丝。



f. 由⑰开始重复操作至⑳ 。



26. PVDF薄膜蒸镀完铝层后,按顺序关闭规管灯丝、高压阀、机械泵、扩散泵。把低压阀拉出。钟罩充气,充气完毕后升钟罩。取出工件,做好钟罩内清理工作。



a. 落下钟罩。



b. 开机械泵,抽3~5min,停机械泵。



c. 切断供电总开关。



d. 1h后再关闭冷却水。操作全部完成。


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